在催化剂的作用下，使有机废气中的碳氢化合物在温度较低的条件下迅速氧化成水和二氧化碳，达到治理的目的。催化燃烧法处理工业有机废气是20世纪40年代末出现的技术。
　　催化燃烧设备之所以能达到理想的净化效率，其实催化剂是重要的核心的技术，由于使用不同的催化剂所产生的效果差别很大，所以选择合适的催化剂也非常的重要。目前催化燃烧法所使用的催化剂主要有三种:贵金属催化剂、复合氧化物催化剂和稀土元素催化剂。催化燃烧法研究的重点和热点仍然集中在催化剂的研究上，工作效率高、便宜、抗中毒的催化剂是关键。
      催化燃烧设备是一种用于处理中低浓度挥发性有机废气的节能型环保装置，将有机废气加热到760℃以上，使废气中的VOC在氧化室氧化分化成CO2和H2O，而氧化产生的高温气体流经特制的陶瓷蓄热体，使陶瓷体升温而蓄热，此蓄热用于预热后续进入的有机废气，从而节省废气升温的燃料消耗。不过要把稳的是，催化燃烧设备蓄热室放热后应立即引入已处理合格的清洁排气的一部分，对该蓄热室结束扫除（以担保VOC去除率在95%以上），只有待扫除完成后才能进入蓄热程序。
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