BenchMark 450 主要技术参数   
  XY 精度:E2=(2.5+5L/1000)微米   
Z   精度:E1=(2.0+8L/1000)微米 （ 带TTL激光和可选5倍镜头）   
英制单位 公制单位   
测量范围 18" X18"X6" 450X450x150毫米   
尺寸 48" X45"X67" 1210X1140X1700毫米   
负载能力 65千克   
台面分辨率 0.5微米   
光学 双重放大 (物镜 X)   
低 0.8 1.0 2.5 5.0 10.0 25.0    
高 3.2 4.0 10.0 20.0 40.0 100.0    
标配物镜 1X   
可选物镜 0.8X,2.5X,5X   
照明 LED 背光,LED 同轴面光   
可选特征 多色可编程环形灯 (PRL)   
Ronchi 栅格自动ju jiao   
TTL 激光    
旋转分度工作台
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